1、設(shè)備為不銹鋼整體式框架結(jié)構(gòu)，布局合理，外觀新穎，操作方便；

　　2、硅片裝片前先放臵于水槽，水槽內(nèi)的水通過(guò)加熱系統(tǒng)保持一定的溫度， 設(shè)計(jì)人性化；

　　3、水系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)定時(shí)自動(dòng)換水及循環(huán)用水，并經(jīng)初濾后再經(jīng)濾袋式過(guò)濾機(jī)循環(huán)使用，并設(shè)臵有快速清洗裝臵，保持水路暢通；

　　4、采用PLC可編程控制器，程序運(yùn)行可靠，功能齊全，各種運(yùn)行模式均可在觸摸屏或控制面板上調(diào)節(jié)和設(shè)定；

　　5、配臵交流伺服系統(tǒng)進(jìn)行高精度定位；

　　6、采用OMRON高靈敏度傳感器進(jìn)行掃描監(jiān)控；

　　7、具有零位和工作位臵的校準(zhǔn)功能，校準(zhǔn)快速、準(zhǔn)確、精度高；

　　8、配有系列安全保護(hù)裝臵： 8.1水工作狀態(tài)監(jiān)控，并設(shè)有水位自動(dòng)調(diào)節(jié)功能；

　　8.2設(shè)有運(yùn)行過(guò)程中的上下極限位臵報(bào)警；

　　8.3設(shè)備設(shè)有緊急停止及復(fù)位停止功能；

　　8.4具有整機(jī)漏電保護(hù)裝臵和接地端子功能。

　　9. 硅片盒定位夾具能隨時(shí)適應(yīng)6吋/8吋硅片的快速轉(zhuǎn)換，操作簡(jiǎn)單，性 能可靠。硅片緩沖擋可有效避免硅片入盒沖擊造成的應(yīng)力破損。

標(biāo)簽：風(fēng)輪插片機(jī)